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供氣設備

TS型全自動GC/R為本公司新型氣瓶柜/架,以PLC為控制主體,觸摸屏為操作界面,針對不同性質氣體搭配不同的盤面設計,可以滿足SEMI、LED、TFT、SUN SOLAR等各產業界之不同需求。

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