工藝設備內部氣柜

TS型全自動GC/R為本公司新型氣瓶柜/架，以PLC為控制主體，觸摸屏為操作界面，針對不同性質氣體搭配不同的盤面設計，可以滿足SEMI、LED、TFT、SUN SOLAR等各產業界之不同需求。